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双面研磨机的加工工艺是研磨抛光中常见的工艺技术之一,他在蓝宝石衬底,硅片,晶体材料,不锈钢,铝合金,锌合金等材料中应用非常广泛。双面研磨机的工艺先进与否关系到工件的精度和表面质量所以双面研磨加工时采用何种工艺是非常关键的。双面研磨加工中占主导地位的三个因素是压力,研磨液的性能及速度。
基于prestom抛光方程在给定的抛光周期内,硅片表面各区域的材料去除量取决于抛光点的压强大小和相应的摩擦长度,因此,硅 片表面摩擦长度的分布状态和压强的分布状态决定了工作表面材料去除的状态。
双面研磨机的工作原理:
上、下研磨盘作相反方向转动,工件在载体内作既公转又自转的游星运动。磨削阻力小不损伤工件,而且两面均匀磨削生产效率高。有光栅厚度控制系统,加工后的产品厚度公差可控制。双面研磨机的装置包括两个研磨盘,游轮,四个电机,太阳轮,修面机等。 两者相比较,双面研磨机的构造相对要复杂一些,但是如果需要双面研磨的工件用双面机进行研磨比单面机的效率无形中要快一倍。这种双面研磨机的诞生和发展为很多行业的生产效率带来了改良。用的比较多的有光学玻璃行业的硅片,蓝宝石衬底,外延片等等。
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